沖縄産学ドットコム｜高硬度シリコンウェハホルダ開発のための金属材料の焼入処理技術の研究
研究成果の報告書
| 研究テーマ | 高硬度シリコンウェハホルダ開発のための金属材料の焼入処理技術の研究  | |
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| 管理法人名 | （財）南西地域産業活性化センター | |
| 研究共同体 | 産 | ・(株)沖縄岸田製作所 |
| 学 | ||
| 官 | ・沖縄県工業技術センター | |
| 概 要 | ICチップ等の半導体製造の初期工程において、ICの 原版となるシリコンウェハを研磨する。この工程で使用するウェハホルダという研磨用治具において安定した研磨を持続させるために耐摩耗性の向上が期待されている。本研究では、耐摩耗性の向上のために金属材料に硬さや粘り等の性質を付加する“焼入れ”という方法を用い、最適な材料の種類、形状、大きさ、処理量などの条件を探索すると共に、金属板の厚さの維持、治具の形状や治具に付加すべき機能についても検討する。 |
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| PDFファイル |  | |
平成21年度（8）
平成20年度（15）
平成19年度（15）
平成18年度（9）
平成15年度（24）
平成14年度（10）
平成13年度（12）
㈱沖縄ヒューマンキャピタル（代表取締役）「地域資源を活用した売れる商品化づくりの支援を通し、沖縄県の中小企業の成長・発展に貢献したい！」
えるだ法律事務所 特許部（副長）「～沖縄のアイデアは沖縄が権利にする～調査から知財戦略まで一緒に考えましょう！」
えるだ法律事務所（弁理士）「知的財産権を扱う専門家として、知財立県『沖縄』をサポートします」
株式会社沖縄ＴＬＯ 取締役事業部長 沖縄ＴＬＯは、産学官連携の中核的な組織として、技術移転機能を中核とした新産業創出の支援を行っています。
